产品名称:磷烷
化学品俗名：
产品分子式:PH3
产品大类:参杂类
产品细类:参杂类
产品规格:5N-6N:
储存方式:DOT碳钢瓶
| 产品说明 | 磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源，同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。 |
| 产品用途 | |
| 注意事项 | 无色，剧毒，易燃烧气体，带有令人生厌的大蒜味。 |
| 应用行业 | |
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