南大光电拟募资6.35亿元！投建ArF光刻胶、2000吨/年三氟化氮扩建等项目
11月7日，南大光电发布公告，披露向特定对象发行股票预案。本次发行对象为不超过35名符合证监会规定的特定对象，募集资金总额不超过63,500万元，扣除发行费用后的净额将用于光刻胶项目、扩建2000吨/年三氟化氮生产装置项目、补充流动资金。
（一）光刻胶项目
本项目拟投资 66,000万元，进行 ArF 光刻胶产品开发和产业化工作。项目目标到 2021 年底，将在我国：1）首次建立 ArF 光刻胶产品大规模生产线，形成年产 25 吨 ArF（干式和浸没式）光刻胶产品的生产能力，产品性能满足90nm-14nm 集成电路制造的要求。产品通过 IC 芯片制造企业的使用认证，实现批量销售；2）建立国内第一个专业用于 ArF 光刻胶产品开发的检测评估平台。平台配备 ArF 光刻机、涂胶显影一体机、特征尺寸扫描电镜、缺陷检测和分析等检测设备，满足先进光刻胶产品和技术开发的需求；3）建立一支具有国际水平的先进光刻胶产品开发和产业化队伍。
本项目的实施单位为子公司宁波南大光电材料有限公司，建设内容包括“先进光刻胶及高纯配套材料的开发和产业化”和“ArF 光刻胶产品的开发和产业化”。
先进光刻胶及高纯配套材料
的开发和产业化
建设内容为建立光刻胶配套高纯显影液的规模化生产线，包括合成、纯化、分析、灌装等工艺的配套生产装置及分析检测设备；另外还将建设国内首个先进光刻胶分析测试中心，包含浸没式光刻机、涂胶显影一体机和 CD-SEM 等关键量测设备。
项目完全达产后，将建成光刻胶研发中心、先进光刻胶的分析测试中心，以及年产 350 吨的高纯显影液的生产线。ArF 光刻胶产品的开发和产业化
建设内容为建立包含高等级超净间在内的 ArF 光刻胶生产线，具备 ArF 光刻胶产品的生产能力；建立 ArF 光刻胶配套关键组分材料的生产能力，完善光刻胶原材料的供应。
项目完全达产后，将建成年产 5 吨 ArF 干式光刻胶的生产线、年产 20 吨ArF 浸没式光刻胶的生产线以及年产 45 吨的光刻胶配套高纯试剂的生产线。
高端光刻胶长期为国外企业垄断的现状，对我国芯片制造具有“卡脖子”风险，高端光刻胶领域亟待打破外资垄断局面。本次募投项目实施完毕后，南大光电将建成 ArF 光刻胶（干式和浸没式）及相关配套试剂生产线，产品性能满足 90nm-14nm集成电路制造的要求，实现国内高端光刻胶零的突破，实现国产先进光刻胶及配套材料的进口替代，有助于解决高端光刻材料“卡脖子”的问题。
（二）扩建 2000吨/年三氟化氮生产装置项目
本项目拟投资 30,000万元，扩建 2000 吨/年三氟化氮生产装置项目，包括：5#三氟化氮电解厂房、6#三氟化氮电解厂房、3#三氟化氮后处理厂房。项目的实施主体为山东飞源气体有限公司，实施地点位于山东省淄博市高青化工产业园。项目计划建设期为 2 年，即 2021 年至 2022 年。
2019 年 11 月，公司开始布局含氟电子特气业务，完成了对飞源气体的收购。中国厂商是含氟气体生产的重要参与方，飞源气体是全球三氟化氮和六氟化硫主要生产企业之一，在含氟气体产品的制备、充装、安全生产、质量控制、安全运输等方面已取得了全面突破，并通过为国际领先企业批量供货，积累了丰富的市场和客户服务经验。飞源气体下游客户包括台积电、京东方、华星光电、惠科股份、龙腾光电等知名客户，拥有丰富的客户渠道。收购飞源气体后，南大光电增加了含氟电子特气业务板块，对公司电子特种气体业务的布局与发展具有重要的战略价值。
中国是下游产业半导体、显示面板的消费大国，未来几年下游产业的跨越式增长将积极消化国内产能，大幅提升含氟电子特气的需求，因此国产三氟化氮厂商面临宝贵的发展机遇，三氟化氮生产向国内转移是大势所趋。公司通过本次募投项目的实施，将扩大三氟化氮气体产能，从而深化含氟电子特气领域投资布局，增强对公司集成电路客户的服务能力，扩大公司产品的市场份额，参与含氟电子特气全球竞争，保持公司在电子特气领域的领先地位和市场竞争力。
