住友化学|强化EUV光阻材料！

日期：2020-10-14 01:32:04 作者：创弗化工分类：新闻中心浏览：355次

住友化学欲强化用于最尖端半导体工艺的EUV（极紫外线）光阻材料业务。在该产品在试制和评价用途中取得的实绩的基础之上，该公司获得了大型晶圆代工公司的量产用途订单。住友化学于九月内开始从大阪工厂（大阪市此花区）供应产品，抓住2-3年后预计可超过100亿日元的EUV市场。同时住友化学还将在计划2022年上半财年建设的大阪工厂新厂房强化光阻材料的质量管理体制。与拥有全球第一市场份额的ArF（氟化氩）液浸用光阻等产品一起，也逐步提高EUV的影响力。