六氟异丁烯/HFIB

作为一种低GWP值的绿色环保新型干法刻蚀气体，可应用于半导体的前段刻蚀。

 产品信息概括

项目	说明
化学名称	六氟异丁烯；2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯；HFIB
CAS号	382-10-5
分子式		C4H2F6
分子量		164.05
沸点（101.325kPa，℃）		14.5
溶解度（23℃, g/L）		0.23
密度(101.325kPa，g/cm3)		1.39

包装规格：4.64L/10.2L/44L钢瓶