一氟甲烷/HFC-41

高纯一氟甲烷HFC-41气体是一种绿色、高效的蚀刻气,它可选择性地蚀刻硅化合物的薄膜,可用于半导体及电子产品的蚀刻制程中。

 产品信息概括

项目

说明

化学名称

一氟甲烷,氟甲烷,甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R41

CAS号

593-53-3

ODP

0

GWP100年

150

 

物化性质

属性

化学名称

一氟甲烷,氟甲烷,甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R41

结构

CH3-F

分子式

CH3F

分子量

34.03

沸点(℃)

-78.4

凝固点(℃)

-142

临界温度(℃)

44.5

蒸汽相对密度(空气=1)

1.2

液体相对密度(水=1)

0.61

蒸汽压(20℃,bar)

33

空气中的可燃范围(%vol)

>5.6

包装规格:4.64L/10.2L/44L 钢瓶

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