全氟丁二烯/C4F6

全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性,更适合于高深宽比的蚀刻工艺。

产品信息概括

项目

说明

化学名称

全氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯

CAS号

685-63-2

ODP

0

GWP100年

<1

大气停留时间(天)

1.1

 

物化性质

属性

化学名称

全氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯

结构式

CF2=CF-CF=CF2

分子式

C4F6

分子量

162.03

沸点(℃)

6

凝固点(℃)

-130

临界温度(℃)

139.6

临界压力(bar)

31.9

液体密度(15℃,kg/l)

1.44

蒸汽密度(kg/m3,@15℃)

6.8

蒸汽压(25℃,bar)

2.11

汽化潜热(熔点时,1.013bar情况下,kJ/kg)

161.8

空气中的可燃范围(%vol)

7-73

包装规格:4.64L/10.2L/44L 钢瓶

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