1,1,1,3,3,3-六氟丙烷/HFC-236fa

作为一种新型干法刻蚀气体，可应用于半导体的前段刻蚀。

 产品信息概括

项目	说明
化学名称	六氟丙烷；1,1,1,3,3,3-六氟丙烷；HFC-236fa
CAS号	690-39-1
分子式		C3H2F6
分子量		152.04
沸点（101.325kPa，℃）		-1.1
蒸汽压（25℃, kPa）		260.8
密度(101.325kPa，g/cm3)		1.371

包装规格：4.64L/10.2L/44L钢瓶